格隆汇1月7日|据上观,我国条二维半导体工程化验证示范工艺线昨天在上海浦东川沙点亮。这条由原集微科技(上海)有限公司建设的示范线,如同一座缩微版的集成电路工厂。透过参观通道的玻璃看到,两座总面积近1000平方米的洁净室里摆满了各种半导体加工设备,包括光刻机。据透露,如果一切顺利,今年年中,整条示范线将完成联调,开始生产。
“我们做的,是用原子直接搭建集成电路。”原集微创始人,复旦大学集成芯片与系统全国重点实验室、微电子学院研究员包文中表示。据透露,铝皮保温示范线在今年6月完成设备联调“跑通”之后,将于9月前完成小批量制造,预计将用等于硅基90纳米芯片制程,制造出兆字节(MB)级存储器和百万门级逻辑电路;今年底,将试生产存算融的端侧算力产品。在此基础上,原集微还公布了未来5年的发展路线图:在今年实现等硅基90纳米的CMOS制程后,将于2027年利用成熟工艺的K线光刻机,实现等硅基28纳米工艺;2028年,实现等硅基5纳米甚至3纳米工艺;终在2029年或2030年,基于全国产集成电路装备,实现等1纳米工艺。
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